最后，佃户的法律地位逐渐明确。

秦汉以来，佃农一直是世家大族的私属。直至唐朝，佃种大地主庄田的农民仍多“王役不供，簿籍不挂”。赵宋立国后，把客户登录簿籍，从而成了封建国家的编户齐民，他们的户籍权得到了承认，同别的编户齐民有了平等的关系。

尽管如此，佃客与主人的关系，在法律地位上却始终存在着主仆名分，是不平等的。而同罪异罚，则是主客法律地位不平等的主要表现。只是在宋初，佃客与田主在服刑上，封建法律尚未作出不平等的明确规定。仁宗嘉礻右七年（），宋廷才规定，地主殴杀佃农，地方官可以奏申朝廷，“取赦原情”。到了神宗元丰七年（），又进一步规定田主殴杀佃客，可减罪一等，即将佃客的法律地位比平民降低了一等。此后，直至元代，主客这种法律地位上的不平等日趋扩大，佃客甚至低于平民三到四等。此外，在这一时期，有关佃农的其他各项法律条文，也日臻明确。

封建法律上的主佃关系是根据宗法家长制下不同关系来规范的，这表明中国的主佃关系具有家长制度的形式。

宋元间佃农法律地位低下的事实，说明自唐宋以来租佃制度虽普遍流行，但佃农对地主仍存在较严重的人身依附关系，租佃关系的发展还没有进入完全成熟的阶段。

第三阶段自明朝到中华民国时期（世纪末至年），单纯纳租关系的租佃制度逐步发展。

明清以后，封建租佃关系发展的主要标志是主佃之间严格的人身依附关系的衰落，宋元以来关于贬抑佃农地位的法律条文已被废弃。明清时期各地此起彼伏的佃农反抗斗争，既是导致人身依附关系削弱的重要原因，又是这种削弱的反映。洪武五年（），明太祖朱元璋下诏规定：“佃户见田主不论齿序，并行以少长之礼；若在亲属，不拘主佃，止行亲属礼。”主佃间虽仍有少长之别，但封建礼仪毕竟不同于法律条文，它更多地属于社会道德的范畴。这一诏书第一次使中国历史上的佃农在同田主的关系上也享有了平民的法律地位。到了清朝雍正五年（）颁定新制，进一步禁止“不法绅衿私置板棍擅责佃户”。当然，明清佃户还远没争得与田主完全平等的地位，地主们还可以利用政权、族权、神权来压迫他们，但封建法典的更改毕竟反映了租佃关系的深刻变化。

明清时期，局部地区还存在着一种依附关系较强的租佃制，即佃仆制，它靠习惯和文约来维持，是宋元以来某些落后生产关系的残存，但它的延续，又与明清时期绅衿地主集团的发展有关。佃仆制流行于安徽、江苏、浙江、江西、湖南、湖北、河南、广东、福建等省的某些地区，皖南的徽州地区尤为盛行。不同地区对佃仆的称谓也有差异，如世仆、庄奴、庄仆、火佃、细民、伴余、伴俏等。佃仆制度的主要特征是佃仆比一般佃农更为穷苦，处于与奴婢或雇工人相似的地位。他们除土地以外的主要生产资料均需由地主提供，与地主之间有严格的终身及子孙相继的主仆名分关系。即使退佃，名分永存。

不过明清的佃仆制已处于不断衰落的过程中，尤其是清中叶以后，佃仆对主家的隶属关系出现了松弛的趋向。如服役范围从无休止的“分外之征”趋向相对固定化，并需支付一定的酒资、小费。佃仆的数量日益减少。部分佃仆用赎身的办法，解除了与地主的主仆名分。同时，封建法律也有所变化。清雍正五年上谕，要将皖南伴俏、世仆中“文契无存，不受主家豢养者”开豁为良，开始了一个在法律上缩小世仆范围的过程。嘉庆十四年（），皖南被开豁为良的世仆达数万人。道光五年（），又下达过类似的上谕。清末，佃仆一般只存在于一些强宗大族和缙绅地主的宗族内；民国年间，则多为封建宗法势力强固的宗族之祠堂所拥有，私人占有者已属罕见。